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直线电机的重复定位精度能否到达某一标准（如0.1um）

直线电机的重复定位精度能否到达某一标准（如0.1um）

2023年03月31日 | 928人阅读
回答 | 共 2 个
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  • ISMC
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    与电机精度和光栅尺的精度有关，可以做到0.1um


    2023年03月31日
    • 李炯耀 | 2023年04月04日
      回复
      重复定位精度，第一取决于机械精度，第二是控制精度，如果要求0.1um的重复精度，这个要求目前在业内也是比较高了，大部分工业场景用不到，在高精密光学，半导体加工，这些特殊场景会用到的，我们实际验证的效果就是在0.1um，这个光栅尺的选择至少要到50nm分辨率级别
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Jasmine

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