Diamond Plus系列高精度正余弦解析伺服驱动器

高精度正余弦解析产品，用于普通模拟量正余弦编码器输入，控制直线电机、DD马达、XYR多自由度平台、直线电机模组，实现单轴5nm、耦合精度20nm超高位置定位精

高精度正余弦解析产品，用于普通模拟量正余弦编码器输入，控制直线电机、DD马达、XYR多自由度平台、直线电机模组，实现单轴5nm、耦合精度20nm超高位置定位精度等场景，可普遍运用于光刻机、光耦合、晶圆加工、晶圆检测、高精度光学检测等领域